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德國(guó)安思羅斯Anseros COM-VD大型臭氧發(fā)生器特點(diǎn)

更新時(shí)間:2022-11-02點(diǎn)擊次數(shù):606

德國(guó)安思羅斯Anseros  COM-VD大型臭氧發(fā)生器特點(diǎn)

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ANSEROS安索羅斯臭氧發(fā)生器COM-VD系列是在低氧氣消耗量的氣相中,臭氧最高濃度可達(dá)到 300g O3/Nm3。

MEGAGEN系列臭氧發(fā)生器COM-VD能與ANSEROS安索羅斯AOPR反應(yīng)器配合使用,其質(zhì)量轉(zhuǎn)移效果非常好,可以將大量的臭氧轉(zhuǎn)換成液相,從而達(dá)到強(qiáng)力去除COD的目的。

臭氧發(fā)生器MEGAGEN COM-VD系列數(shù)據(jù)表

臭氧發(fā)生器COM-VD系列產(chǎn)品特點(diǎn):

最高臭氧濃度

低耗氧量

低功耗

相關(guān)反應(yīng)性高

低AOPR(高級(jí)氧化工藝)能耗

臭氧發(fā)生器用于半導(dǎo)體加工

臭氧發(fā)生器COM-VD系列產(chǎn)品應(yīng)用:

+ AOP(高級(jí)氧化技術(shù))污水處理、去除COD

+ HOXON®廢水系統(tǒng), API廢水

+ 半導(dǎo)體加工(如晶圓清洗,電子元件臭氧清洗)

+ 除臭

+ 研發(fā)

+ 藥品生產(chǎn)

臭氧發(fā)生器在半導(dǎo)體晶圓清洗上的應(yīng)用

晶圓清洗是目前半導(dǎo)體生產(chǎn)線上最重要、最嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ば蛑?,在很多的清洗工序中,只要有一道工序達(dá)不到要求,就會(huì)導(dǎo)致征辟的芯片的報(bào)廢和流程不順暢,傳統(tǒng)的RCA清洗法需要大量的化學(xué)試劑,帶來(lái)了成本的增加以及均勻性不一致的問(wèn)題,而臭氧是一種具有氧化性的氣體,把它溶解在超純水中,噴灑在晶圓表面,可以將表面的有機(jī)污染物氧化為二氧化碳和水,非常容易就可以去除表面有機(jī)物,同時(shí)還會(huì)在晶圓表面形成一層致密的氧化膜。因此德國(guó)ANSEROS安索羅斯臭氧發(fā)生器非常適合運(yùn)用在半導(dǎo)體特別是晶圓清洗上。

臭氧發(fā)生器COM-VD系列產(chǎn)品規(guī)格:

類(lèi)型單位COM-VD-08COM-VD-16COM-VD-24
臭氧容量g O3 /h60120180
最大臭氧濃度g O3/Nm3300300300
最小臭氧濃度g O3/Nm3150150150
臭氧氣體壓力輸出bar (g)<2.9
最小氧氣消耗量Nm3 /h0,20,40,6
電功率kW0,61,21,8
電源VAC /Hz230/50-60/1 phase
能效kWh/kg O3101010
AOPR評(píng)級(jí),
動(dòng)力
kg O3/(bar *h* m3H2O)10 ... 500
冷卻液,目標(biāo)溫度m3 /h283 K0,10,20,3
外形尺寸mm高280*寬562*長(zhǎng)603 mm
標(biāo)準(zhǔn)重量kg415062


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